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ZZS系列箱式真空鍍膜機
- 用途及特點(diǎn)
- 規格參數
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簡(jiǎn) 介
成都南光機器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機，經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，形成了真空鍍膜室尺寸從350毫米到3600毫米的箱式真空鍍膜機系列產(chǎn)品。廣泛應用于企業(yè)、科研院所、大專(zhuān)院校的科研和量產(chǎn)化生產(chǎn)領(lǐng)域，是鍍制多層光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜的理想設備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●采用箱式結構，真空系統后置，便于操作和維修；整機表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內做穿墻式安裝。
●設備真空系統抽速大，具有抽氣時(shí)間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn)。
●采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長(cháng)，可達到******烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。
●工件轉動(dòng)采用上部中心驅動(dòng)，軸承帶水冷，磁流體密封，轉動(dòng)平穩******。
●采用石英晶體膜厚控制儀，可實(shí)現鍍膜過(guò)程的自動(dòng)控制。
●采用******的鍍膜控制系統，人機操作界面美觀(guān)實(shí)用，系統穩定******，可實(shí)現系統的手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)操作。
適用范圍
●用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長(cháng)波通、短波通和多種電學(xué)薄膜
常用標準配置
●以下表格內容為我公司五種常用標準機型的配置及指標，多年來(lái)我公司先后開(kāi)發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空鍍膜機。為滿(mǎn)足廣大用戶(hù)的不同需求，我公司可接受多種形式的真空鍍膜機的定制要求，包括對真空室體尺寸、真空系統配置、工件夾具系統、工件烘烤系統、膜厚監控系統、蒸發(fā)源系統、充氣系統、離子源系統以及電氣控制系統的特殊定制。
ZZS系列箱式真空鍍膜機
Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
常用標準配置表
Standard configurations for common use
Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
常用標準配置表
Standard configurations for common use
| 型 號 Model |
ZZS600 | ZZS700 | ZZS800 | ZZS900 | ZZS1100 | ZZS1300 | ZZS1800 | ||
| 真空室尺寸(直徑×高) Size of the vacuum chamber (diameter× height) |
Φ600×750 | Φ710×850 | Φ800×900 | Φ900×1000 | Φ1100×1300 | Φ1300×1300 | Φ1800×2000 | ||
| 極限真空度 Ultimate vacuum degree |
≤3.0×10-4Pa | ||||||||
| 恢復真空時(shí)間 Time for vacuum recovery |
4.0×10-3Pa≤15min | ||||||||
| 抽氣系統 Pumping system |
擴散泵 Diffusion pump | K-400 | TK-500 |
K-600
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K-630 | TK-500×2 | K-630×2 | K-800×2 | |
| 羅茨泵 Roots pump | ZJP-150 | ZJP-300 | ZJP-300 | ZJP-1200 | |||||
| 機械泵 Mechanical pump | 2X-30 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70，H-150×2 | ||
| 真空測量系統 Vacuum measuring system |
配三路數字復合真空計，兩路低真空，一路高真空 Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum |
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| 操作方式 Operation mode |
手動(dòng)/自動(dòng) Manual/automatic |
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| 工件夾具 Work piece holder |
Φ600 | Φ640 | Φ750 | Φ840 | Φ1040 | Φ1240 | Φ1720 | ||
| 工件烘烤系統 Work piece baking system |
上烘烤，鎧裝管狀加熱器加熱，******溫度350℃，PID自動(dòng)控溫及顯示 Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display. |
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| 蒸發(fā)源 Evaporation source |
電阻蒸發(fā)源 Resistance evaporation source |
電阻蒸發(fā)源功率4KW（8V、600A） Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A) |
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| 電子束蒸發(fā)源 Electron beam evaporation source |
E型電子束蒸發(fā)源，功率6～10KW Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW |
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| 膜厚監控系統 Monitoring system on depth of films |
光學(xué)膜厚監控，波長(cháng)范圍380-800nm，9ｏ透反射光路，六位電動(dòng)比較片帶顯示；石英晶體膜厚監控，美國SQC-310、IC/6 The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9ｏtransflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6 |
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| 充氣系統 charge systems | 自動(dòng)壓強儀2～510-2Pa Automatic pressure instrument |
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| 質(zhì)量流量計：?jiǎn)温穯物@，雙路雙顯 Mass flow meter: one way one display, dual way dual display |
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| 離子輔助（選配） Ion-assisted (optional) |
H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源 H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source |
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| 深冷捕集器（選配） Cryogenic trap (optional) |
國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進(jìn)口POLYCOLD550、進(jìn)口POLYCOLD670 Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670 |
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| 動(dòng)力需求 Power demand |
冷卻水 Cooling water |
壓力溫度 Pressure and temperature |
壓力：0.25～0.35MPa；溫度≤25℃ Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃ |
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| 流量 Flow rate |
≥50L/min | ≥60L/min | ≥80L/min | ≥100L/min | ≥140L/min | ≥160L/min | ≥180L/min | ||
| 壓縮空氣 Compressed air |
壓力：0.5～0.7MPa Pressure: 0.5-0.7MPa |
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| ******消耗電力 Maximum power consumption |
～25KW | ～35KW | ～40KW | ～45KW | ～50KW | ～60KW | ～120KW | ||
| 設備外形尺寸（寬×深×高） Overall dimension (width×depth×height) |
2100×1800×2000 | 3350×2600×2370 | 3580×3000×2450 | 3870×3600×2670 | 3870×3600×2670 | 3900×4050×2950 | 4400×4000×3600 | ||
| 設備總重（KG） Gross weight (Kg) |
約1500 About 1,500 |
約2000 About 2,000 |
約2500 About 2,500 |
約3000 About 3,000 |
約3000 About 3,000 |
約4000 About 4,000 |
約6000 About 4,000 |
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