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        您好，歡迎光臨成都南光機器有限公司
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    F型渦輪分子泵
    
      
    
        
      
    
      
    
      
    
        
    • 用途及特點(diǎn)
    • 規格參數
    
      
    
      
    
        
      
          產(chǎn)品用途：Product Applications
      
 
      
●渦輪分子泵用于高真空和超高真空，它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵。
      
 
      
主要應用領(lǐng)域：Main applications:
      
 
      
●表面物理和分析儀器
      
●等離子體物理，空間研究
      
●核聚變裝置
      
●原子束分子束系統，粒子加速器
      
●真空鍍膜
      
●真空冶煉
      
●半導體和光學(xué)器件制造
      

      
產(chǎn)品特點(diǎn)：Product Features
      
 
      
●體積小，安裝和使用方便
      
●理想的動(dòng)平衡，震動(dòng)和噪音小
      
●壓力在10-1～10-8pa范圍內有恒定的抽速
      
●陶瓷軸承使用壽命長(cháng)
      
        
    
        
      
          
      
          
      F型渦輪分子泵
      
Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
      
技術(shù)參數Technical specifications：
      

      

	
      
	型號 
      
	Model      		
	FC-150/450
	FG-150/450
	FC-250/1400
	FG-250/1400
	F-400B/3500
	
      
	
      
	進(jìn)氣口法蘭 
      
	Inlet flange  (mm)      		
	DN160CF
	DN160LF
	DN250CF
	DN250LF
	DN400LF
	
      
	
      
	出氣口法蘭 
      
	Oulet flange  (mm)      		
	DN40KF
	DN63LF
	DN100LF
	
      
	
      
	抽氣速度  
      
	Pumping speed  (L/S)      		
	450
	1400
	3500
	
      
	
      
	極限壓力
      
	Ultimate pressure      		
	不烘烤
      
	Without baking  (Pa)      		
	6×10-6
	6×10-6
	6×10-6
	
      
	
      
	壓縮比
      
	Compression ratio      		
	對N2
	108
	108
	108
	
      
	
      
	對H2
	102
	102
	102
	
      
	
      
	轉速RPM   (r/min)
	24000
	24000
	14100
	
      
	
      
	起動(dòng)時(shí)間  
      
	Start-up time <(Min)      		
	5
	10
	20
	
      
	
      
	前級壓力  
      
	Fore pressure <(Pa)      		
	10
	10
	10
	
      
	
      
	建議采用的前級泵
      
	Recommended backing pump  (L/s)      		
	8
	15
	30
	
      
	
      
	冷卻水溫度
      
	Cooling water temperature <(℃)      		
	≤25
	≤25
	≤25
	
      
	
      
	冷卻水壓力
      
	Cooling water pressure (Mpa)      		
	0.196
	0.196
	0.196
	
      
	
      
	泵體烘烤溫度
      
	Temperature of baking <(℃)      		
	120
	120
	120
	
      
	
      
	重量  
      
	Weight(Kg)      		
	35
	70
	125
	
      
      

      

       
      
          
      
        
    
      
    
    
    
    
    
    
        
    
        
    
    
  
    
  

    






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