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              產品展示
              F型渦輪分子泵
              • 用途及特點
              • 規格參數
                產品用途:Product Applications
                 
                ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
                 
                主要應用領域:Main applications:
                 
                ●表面物理和分析儀器
                ●等離子體物理,空間研究
                ●核聚變裝置
                ●原子束分子束系統,粒子加速器
                ●真空鍍膜
                ●真空冶煉
                ●半導體和光學器件制造

                產品特點:Product Features
                 
                ●體積小,安裝和使用方便
                ●理想的動平衡,震動和噪音小
                ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
                ●陶瓷軸承使用壽命長
                F型渦輪分子泵
                Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
                技術參數Technical specifications:
                型號 
                Model
                FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
                進氣口法蘭 
                Inlet flange  (mm)
                DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
                出氣口法蘭 
                Oulet flange  (mm)
                DN40KF DN63LF DN100LF
                抽氣速度  
                Pumping speed  (L/S)
                450 1400 3500
                極限壓力
                Ultimate pressure
                不烘烤
                Without baking  (Pa)
                6×10-6 6×10-6 6×10-6
                壓縮比
                Compression ratio
                對N2 108 108 108
                對H2 102 102 102
                轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
                起動時間  
                Start-up time <(Min)
                5 10 20
                前級壓力  
                Fore pressure <(Pa)
                10 10 10
                建議采用的前級泵
                Recommended backing pump  (L/s)
                8 15 30
                冷卻水溫度
                Cooling water temperature <(℃)
                ≤25 ≤25 ≤25
                冷卻水壓力
                Cooling water pressure (Mpa)
                0.196 0.196 0.196
                泵體烘烤溫度
                Temperature of baking <(℃)
                120 120 120
                重量  
                Weight(Kg)
                35 70 125
                 

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