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              P系列真空排氣臺技術參數表格
              • 用途及特點
              • 規格參數
                產品應用
                 
                用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

                 
                主要結構與工作方式
                 
                ●手工裝料
                ●立式,單工位、多工位
                ●主機與控柜一體或分開設置
                     型號    
                      Mode    
                       技術參數  
                  Technical Data   
                P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
                主極限真空度
                Ultimate Vacuum
                ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
                烘箱真空
                Baking Chamber Vacuum
                ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
                烘箱工作空間
                Baking Chamber Dimension
                Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
                真空系統
                Vacuum System
                分子泵系統
                Turbo Pump System
                分子泵系統
                Turbo Pump
                 System
                離子泵系統
                Ion Pump System
                冷凝泵系統
                Cryopump System
                 
                ******溫度
                Max.Temperature
                650℃ 600℃ 600℃ 600℃
                溫度均勻性(軸向)
                Temperature Uniformity
                ≤±5℃三點測溫
                (3 point measurement)
                ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
                (3 point measurement)
                抽氣速度
                Pumping Speed
                ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
                加熱功率
                Heating Power
                12 KW 18 KW(10可調,8固定)
                (10 adjustable,8 fixed)
                9 KW 10 KW
                總功率
                Total Power
                15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
                加熱方式
                Heating Mode
                外加熱
                Outside Heating
                外加熱
                Outside Heating
                內加熱
                Inside Heating
                內加熱
                Inside Heating


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