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              立式氫氣爐技術參數表格
              • 用途及特點
              • 規格參數
                 產品應用
                 
                本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
                     型號    
                      Mode    
                       技術參數  
                  Technical Data   
                L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無油) L1122Ⅱ-1
                ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
                額定工作溫度
                Rated Working Temperature
                1200℃ 1100℃ 2100℃
                加熱方式
                Heating Mode
                鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
                Tantalum sheet
                爐溫均勻性
                Furnace Temperature Uniformity
                ±5℃ ±5℃ ±5℃
                爐膛尺寸
                Furnace Chamber Dimension
                Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
                控溫精度
                Temperature Control Precision
                ±1℃ ±1℃ ±1℃
                空載室溫到工作溫度時間
                From Room Temperature to working temperature
                < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
                真空系統
                Vacuum System
                擴散泵系統
                Diffusion Pump System
                分子泵系統
                Turbo Pump System
                分子泵系統
                Turbo Pump System
                極限真空(空爐)
                Ultimate Pressure(no-load)
                5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
                工作真空度
                Working Vacuum
                5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
                壓升率
                Pressure Rise Rate
                0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
                冷卻水壓
                Cooling Water Pressure
                0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
                總重量
                Total Weight
                1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
                設備總功率
                Total Power
                30 KW 22 KW 30 KW


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